在半導體產(chǎn)業(yè)日益追求精度、效率和自動(dòng)化的今天,一臺高性能、高穩定性的劃片設備,不僅決定了產(chǎn)線(xiàn)的良率,也關(guān)系到整條供應鏈的運行成本。BT6366 精密砂輪劃片機,正是為這一挑戰而生的專(zhuān)業(yè)級解決方案,全面覆蓋從晶圓裝片到成品卸片的每一個(gè)精密環(huán)節。
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一機多能,滿(mǎn)足多種高精度切割需求
BT6366 被廣泛應用于半導體晶圓、IC封裝(如QFN、DFN、BGA)、miniLED、太陽(yáng)能電池片、電子基片、光學(xué)玻璃等行業(yè)的微細劃切任務(wù),尤其擅長(cháng)對如下材料的穩定加工:
* 硅(Silicon)
* 石英(Quartz)
* 氧化鋁 / 氧化鐵
* 藍寶石
* 砷化鎵(GaAs)
* 鈮酸鋰(LiNbO?)
* 光電玻璃、陶瓷等脆性材料
在高精度、高一致性、高產(chǎn)能的三重標準下,BT6366 憑借強大的核心配置和自動(dòng)化設計,已成為國內外客戶(hù)信賴(lài)的核心設備。
核心優(yōu)勢:重新定義切割效率與精度
? 全流程自動(dòng)化,提高效率、減少人力
從裝片、視覺(jué)對準、切割、清洗再到卸片,BT6366 實(shí)現全自動(dòng)化作業(yè),極大地降低人工干預。搭配智能程序控制系統,支持批量任務(wù)快速切換,優(yōu)化整線(xiàn)生產(chǎn)節奏。
? 高性能對向雙主軸結構,提升產(chǎn)能與壽命
采用Z1/Z2 雙主軸對向配置,每個(gè)主軸均為高功率空氣靜壓驅動(dòng),具備更強負載與更小振動(dòng),有效延長(cháng)刀具壽命并提高切割穩定性。
? 配置NCS接觸檢測+高精度顯微鏡
每個(gè)主軸上配置有NCS自動(dòng)接觸檢測系統與專(zhuān)用顯微鏡視覺(jué)系統,大幅降低人工校準時(shí)間,提升對準精度,避免微米級誤差造成的不良率。
? 多材料適配能力,滿(mǎn)足復雜需求
從8英寸至12英寸晶圓,到各種定制化封裝材料,BT6366 都能靈活適應,不再為材料切換頻繁而煩惱,是一機多用、降低設備投資成本的利器。
應用行業(yè)廣泛,覆蓋從芯片到終端的關(guān)鍵工藝
BT6366 在多個(gè)高精度加工行業(yè)中表現優(yōu)異,是眾多半導體封測廠(chǎng)、光電組件廠(chǎng)、LED封裝廠(chǎng)、陶瓷加工廠(chǎng)的首選設備。
項目 | 產(chǎn)品型號 | BT6366 精密砂輪劃片機 |
加工尺寸 | ≤?305mm/□260mm*260mm/定制 | |
運動(dòng)方式 | 雙軸對向式、全自動(dòng) | |
X軸 | 最大速度 | 600mm/s |
直線(xiàn)度 | 1.5μm全行程 | |
Y軸 | 有效行程 | 310mm |
定位精度 | 2μm全行程 | |
分辨率 | 0.1μm | |
Z軸 | 有效行程 | 40mm |
單步步盡量 | 0.0001mm | |
最大刀輪直徑 | 60mm或定制 | |
T軸 | 轉動(dòng)角度范圍 | 380 |
主軸 | 最大轉速 | 60000rpm/min |
額定輸出功率 | 直流(DC)1.5/1.8/2.4KW | |
基礎規格 | 電源 | 三相AC220V/50Hz |
壓縮空氣 | 0.5-0.6Mpa、Max420L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa、Max 12L/min | |
排風(fēng)流量 | 10m3/min | |
尺寸(mm) | 1288X1618X1810 | |
重量 | 2000kg |
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