可用于集成電路Q(chēng)FN、壓電陶瓷、發(fā)光二極管、分離器件、光通訊器件、LED芯片、熱敏電阻、光學(xué)器件、陶瓷電路器件的劃切分離加工。適用于硅、石英、玻璃、藍寶石、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵和鈮酸鋰等材料的劃切加工。最大兼容8英寸晶圓,具有單主軸和雙主軸的機型。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。
產(chǎn)品介紹:
● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸
● 高剛性龍門(mén)式結構
● T軸旋轉軸采用DD馬達
● 進(jìn)口超高精密級滾柱型導軌
● 進(jìn)口超高精密滾珠型絲桿
● CCD雙鏡頭自動(dòng)影像系統
● 友好人機交互界面
● 瑞士進(jìn)口滾柱導軌,精度高,耐用性久,穩定性高,超高直線(xiàn)度,實(shí)測0.9μm
● 采用進(jìn)口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm全行程
● 自動(dòng)對焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線(xiàn)刀痕檢測功能
● NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動(dòng)修磨法蘭功能
● 工件形狀識別功能,更加友好人機界面
● 自動(dòng)化程序著(zhù)提升
● 滿(mǎn)足各種加工工藝需求
項目 | 產(chǎn)品型號 | BT3352 精密砂輪劃片機 |
加工尺寸 | ?305mm/260mm×260mm或定制 | |
X軸 | 最大速度 | 600mm/s |
直線(xiàn)度 | 2μm全行程 | |
Y軸 | 有效行程 | 310mm |
定位精度 | 2μm全行程 | |
分辨率 | 0.1μm | |
Z軸 | 有效行程 | 40mm |
單步步盡量 | 0.0005mm | |
最大刀輪直徑 | 60mm或定制 | |
T軸 | 轉動(dòng)角度范圍 | 380 |
主軸 | 最大轉速 | 60000rpm |
額定輸出功率 | 直流1.8/2.4KW | |
基礎規格 | 電源 | 220V/50Hz |
壓縮空氣 | 0.5-0.6Mpa、Max220L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa、Max 4L/min | |
排風(fēng)流量 | 3m3/min | |
尺寸(mm) | 1080X1160X1810 | |
重量 | 1200KG |
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