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        139-2342-9552

        8-12寸半自動(dòng)劃片機

        BT3352 精密砂輪劃片機

        高效率高精度高性能

        BT3352 精密砂輪劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽(yáng)能電池、熱敏電阻、壓電陶瓷、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。 

        139-2342-9552 獲取定制化方案

        產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數樣品案例

        產(chǎn)品介紹

        可用于集成電路Q(chēng)FN、壓電陶瓷、發(fā)光二極管、分離器件、光通訊器件、LED芯片、熱敏電阻、光學(xué)器件、陶瓷電路器件的劃切分離加工。適用于硅、石英、玻璃、藍寶石、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵和鈮酸鋰等材料的劃切加工。最大兼容8英寸晶圓,具有單主軸和雙主軸的機型。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。 

        產(chǎn)品介紹:

        ● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸

        ● 高剛性龍門(mén)式結構

        ● T軸旋轉軸采用DD馬達

        ● 進(jìn)口超高精密級滾柱型導軌

        ● 進(jìn)口超高精密滾珠型絲桿

        ● CCD雙鏡頭自動(dòng)影像系統

        ● 友好人機交互界面

        ● 瑞士進(jìn)口滾柱導軌,精度高,耐用性久,穩定性高,超高直線(xiàn)度,實(shí)測0.9μm

        ● 采用進(jìn)口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm全行程

        ● 自動(dòng)對焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線(xiàn)刀痕檢測功能

        ● NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動(dòng)修磨法蘭功能

        ● 工件形狀識別功能,更加友好人機界面

        ● 自動(dòng)化程序著(zhù)提升

        ● 滿(mǎn)足各種加工工藝需求



        產(chǎn)品參數

        項目

        產(chǎn)品型號

        BT3352 精密砂輪劃片機


        加工尺寸

        ?305mm/260mm×260mm或定制

        X軸

        最大速度

        600mm/s

        直線(xiàn)度

        2μm全行程

        Y軸

        有效行程

        310mm

        定位精度

        2μm全行程

        分辨率

        0.1μm

         Z軸

        有效行程

        40mm

        單步步盡量

        0.0005mm

        最大刀輪直徑

        60mm或定制

        T軸

        轉動(dòng)角度范圍

        380

        主軸

        最大轉速

        60000rpm

        額定輸出功率

        直流1.8/2.4KW

         基礎規格

        電源

        220V/50Hz

        壓縮空氣

        0.5-0.6Mpa、Max220L/min

        切削水

        0.2-0.3Mpa、Max 4L/min

        排風(fēng)流量

        3m3/min

        尺寸(mm)

        1080X1160X1810

        重量

        1200KG



        樣品案例

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